真空擴散焊是在金屬不熔化的情況下，形成焊接接頭，這就必須使兩待焊表面接觸距離達到1μm以內，這樣原子間的引力才起作用并形成金屬鍵，獲得一定強度的接頭。

擴散焊接

影響焊縫成形和工藝性能的參數主要有：焊接溫度、壓力、時間和保護氣體的種類。在其他參數固定時，采用較高壓力能產生較好的接頭。壓力上限取決于焊件總體變形量的限度、設備噸位等。對于異種金屬擴散焊，采用較大的壓力對減少或防止擴散孔洞有作用。除熱靜壓擴散焊外通常擴散焊壓力在0.5～50MPa之間選擇。

擴散時間是指焊件在焊接溫度下保持的時間。在該焊接時間內必須保證擴散過程全部完成，以達到所需的強度。擴散時間過短，則接頭強度達不到穩定的、與母材相等的強度。但過高的高溫高壓持續時間，對接頭質量不起任何進一步提高的作用，采用某種焊接參數時，焊接時間有數分鐘即足夠。

焊接保護氣體純度、流量、壓力或真空度、漏氣率均會影響擴散焊接頭質量。常用保護氣體是氬氣，對有些材料也可用高純氮氣、氫氣或氦氣。